中芯国际：13个月创造行业奇迹

在中国大陆的芯片制造企业中，中芯国际作为国内规模最大、技术最先进的制造企业之一，在中国北京、上海、深圳、天津和意大利拥有生产8英寸和12英寸的晶圆厂，率先在中国大陆进行14纳米工艺技术的研发。

2000年4月，张汝京博士与王阳元院士等人一道，带领着300多位台湾同胞和100多位来自欧美日韩等地的同事和朋友组成的团队，在上海创办中芯国际集成电路制造（上海）有限公司。包括谢志峰（本书作者之一）在内的许多中国大陆海归博士加入了中芯国际的艰苦创业中。张汝京的父亲张锡纶毕业于中国第一所矿业高等学府焦作工学院，毕业后进入上海的一家炼钢厂工作。抗战爆发后，张锡纶随着上海工业的西迁到了重庆，其所工作的炼钢厂被编入了兵工厂。战火中，张锡纶先生指挥炼钢，刘佩金女士（张汝京的母亲）钻研火药，为前方源源不断地输送抗战物资。抗战胜利时，张锡纶已成为著名的炼钢专家，与刘佩金女士在南京安家、成婚、生子。张锡纶的大儿子张汝翼后来曾参与了无锡华晶上华的建设，张汝京是张锡纶的第二个儿子，于1948年出生。淮海战役结束后，张锡纶带着张汝京等家人启程前往台湾高雄。在台湾，张汝京以优异的成绩毕业，后来前往美国攻读工程学硕士、电子学博士学位，并于1977年加入德州仪器。在邵子凡的领导下，张汝京成长为芯片制造工厂建设专家：经历了前8年的研发职业生涯后，张汝京开始负责运营，成功主持了德国仪器在美国、日本、新加坡、意大利和中国台湾地区10座半导体工厂的建设与运营，成为了全球半导体业“建厂高手”。

在邵子凡、张锡纶的感召下，张汝京萌生了到祖国大陆建设芯片制造工厂的想法。1989年，德州仪器在多重评估后决定在中国台湾建厂，当时张汝京便设想招聘祖国大陆的工程师到宝岛上培训，以便未来建厂时解决人才难题。不过，由于台湾当局不允许，张汝京只得作罢。1992年至1994年，张汝京在新加坡建设芯片制造厂。在得到新加坡政府允许后，张汝京在内地招聘了约300人，后来中芯国际成立时有数十人追随张汝京到上海投身建设。

1995年，张汝京受邵子凡之托，时隔46年后回到祖国大陆作演讲。此次大陆之行中，张汝京了解到贵州地区的贫困学生状况后，便于1996年在贵州正安县的碧峰乡捐赠了平生的第一所希望小学，此后陆续在贵州、云南、四川、甘肃等地捐赠兴建了约20所希望小学。

1997年，张汝京从德州仪器提前退休后，回到中国台湾创办世大半导体。2000年，台积电并购世大半导体，张汝京把在中国台湾的股票市场上获得的盈利捐于慈善事业后，带着“中”国技术第一“芯”片代工厂的梦想来到了上海，将企业取名为“中芯”。张汝京在上海获得了各级政府部门的大力支持，时任市长徐匡迪亲自带张汝京考察了浦东后，中芯国际选址张江。

在中芯国际的早期发展中，作为奠基人之一的王阳元院士同样功不可没参与创建了中芯国际集成电路制造有限公司。王阳元于1958年毕业于北京大学物理系，是我国自主培养的第一批半导体人才之一。1975年，王阳元主持研制成功具有自主知识产权的硅栅P沟道、铝栅N沟道、硅栅N沟道三种技术和我国第一块1 024位MOS动态随机存取存储器，开拓了我国硅栅N沟道MOS技术，其成果荣获1978年全国科学大会奖。1978年，王阳元在北京大学建立微电子学研究室并任室主任，成为北京大学微电子学科的创建者。1986年，北京大学微电子学研究所成立，王阳元任所长。王阳元主持创建了SOI新器件研究室、我国第一个国家级微米/纳米加工技术重点实验室、北京大学多功能芯片制造服务中心，并与杨芙清院士共同创建了软件与硬件协同设计北京市高技术重点实验室等机构。在北京大学的研究历程中，王阳元还提出了多晶硅薄膜“应力增强”氧化模型、工程应用方程、掺杂浓度与迁移率之间的关系；研究了多种硅化物薄膜及亚微米和深亚微米CMOS电路的硅化物/多晶硅复合栅结构；发现了磷掺杂对固相外延速率增强效应以及CoSi2栅对器件抗辐照特性的改进作用；提出了SOI器件浮体效应模型和通过改变器件参量抑制浮体效应的工艺设计技术；领导研制成功了我国第一个大型集成化的ICCAD系统。20世纪90年代后期开始，王阳元研究微机电系统，后来又致力于研究亚纳米集成电路新器件结构、新工艺及其集成技术。此外，王阳元院士还十分关注集成电路的发展战略研究，《我国集成电路产业发展之路》《绿色微纳电子学》《战略―生存与发展之本》《后摩尔时代微纳电子学科发展战略研究》等著作就是其代表性的成果。

信心是实力的前提，实力是信心的体现。2000年8月1日，中芯国际打下了第一根桩，在2001年9月25日正式建成投产，前后仅历时13个月，创造了当时最快的建厂速度。(www.xing528.com)

张汝京的专业、朴实和眼光很快吸引了一批国际化的专业人才集聚到中芯国际。建厂时，张汝京事事亲力亲为，初期每天在厂里巡视数次，每次要花约两小时。开工第一天，张汝京带领高层主管到无尘室，亲自用酒精沾布，蹲在地上擦地板。张汝京的做法，自然而然地凝聚了中芯国际员工的向心力，而中芯国际对于人才的第一要求是“操守”和“诚信”。这或许就是除了专业之外，“建厂高手”能够创造震惊业界纪录的又一法宝。在中芯国际任董事长的十年期间，王阳元院士则集长远发展的战略思维、切合实际的经营策略于一道，为中芯国际设计行之有效的运行和融资体制，使中芯国际广纳天下英才的同时，又能适应中国国情顺利发展。在他们的共同努力下，中芯国际引入了上海实业、摩托罗拉、张江高科、北大青鸟、高盛、华登国际以及新加坡淡马锡控股等一批投资者，开启了中国大陆晶圆代工发展的新征程。

图20　中芯第一芯

逆水行舟，不进则退。肩负起民族集成电路行业的发展使命，不仅要创新，还要加快创新、多创新。张汝京建厂中芯国际，正值行业发展的低谷期，这一时机与三星的“逆周期投资”做法不谋而合。在低谷期，中芯国际以相对较低的价格购入了二手设备以及位于天津的摩托罗拉工厂。同时，改革开放后一批海归人才相继创业，或者回到中国大陆工作。在中芯国际的发展中，上海市政府积极响应中央政府的政策，全力支持中芯国际的发展。有此基础，加上上海实业、高盛、华登国际、汉鼎亚太和祥峰等的投资，中芯国际在“天时地利人和”中起步。仅仅3年时间，中芯国际已经拥有4条8英寸生产线和1条12英寸生产线，在当时绝无仅有，震惊了业界。

看似一切顺利的背后，实则凝聚着张汝京的建厂智慧。尽管获得了10亿美元的投资，再加上银行4.8亿美元的融资，但是当时10美元仅够一条8英寸生产线的费用，留给中芯国际的施展空间十分有限。经过慎重考虑，鉴于资金有限、人才不足，中芯国际认定必须要做大规模，而生产工艺则依靠合作联盟来实现。再加上当时适逢行业的低谷期，中芯国际得以迅速做大。

在中芯国际建设过程中，张汝京带着妻子和儿子迁往上海定居，张汝京的母亲刘佩金也前往上海（此时张锡纶已经仙逝）。1949年张锡纶来到台湾地区后，担任一家冶金工厂的厂长，而刘佩金女士以教书为业，直到近70岁。刘佩金一直给孩子们以《史记》等中国文化的教育，而张汝京也在父母的熏陶下种下了刻骨铭心的中国心。不过，在中芯国际初创之时，台湾当局要求张汝京在大陆撤资，张汝京则以宣布放弃台湾地区的户籍作为回应。张汝京的以身作则，是当时中芯国际独特的企业文化魅力。在张汝京的感召下，中芯国际的员工家属也大多支持家人投身上海基地的建设。