电子级化学气体：服务商与机遇

在整个集成电路的产业链条中，还有其他的一些配套企业同样提供着高质量、高可靠性的专业服务。例如，沉积、刻蚀、光刻、掺杂、退火、清洁等工序都离不开电子级化学气体，德国林德集团、法国液化空气、美国空气化工和普莱克斯、日本大阳日酸株式会社是该领域专业的服务商。国内企业则从电子特种气体前驱体、刻蚀气体和清洗气体领域切入，正在开启细分领域的进口替代征程。

这些企业的服务范围往往不局限于电子行业，但是其在集成电路产业链所需的气体服务中却十分专业。在五大企业中，联华林德由全球第一家空气分离企业―德国林德集团与中国台湾联华实业公司联合成立，为集成电路、发光二极管和太阳能等行业提供了大宗气体（氧气、氮气、氢气、氦气）和电子级特种气体的组合服务，服务内容既包括电子气体相关设备，也包括管理解决方案。林德服务不仅能为客户提供定制，还实现了快速响应的解决方案。

法国液化空气集团成立于1902年，是世界上最大的工业气体和医疗气体以及相关服务的供应商之一，提供氧气、氮气、氢气和其他气体，以及气体相关的服务。2017年，液化空气与中国、日本及新加坡的重要电子业制造商签订了多项新长期合同，在这些国家投资逾1.5亿欧元，为客户的新工厂提供超纯载气，助其制造消费类电子产品和移动设备所需的集成电路、存储器、成像传感器和平板显示器。超纯氮气等载气，直接应用于芯片与显示器制造工艺，并用于营造超净的气体环境以保护制造工具。(www.xing528.com)

美国空气化工公司创立于1940年，是全球最大的工业气体供应商之一，客户包括IBM、英特尔、东芝、三星等。2016年，该公司总投资约1.2亿美元的项目在南京浦口经济开发区签约，项目为台积电等集成电路企业提供普通空气气体产品（氧气、氮气和氩气等）、特种气体（氦气、氢气等），电子级特种气体和相关管网设备等高质量的气体产品。