【摘要】：沈阳硅基科技有限公司成立于2004 年，于2017 年被国家认定为高新技术企业。目前，公司SOI 产品批量生产良率已经达到93.12％。截至目前，公司在SOI 技术领域，已经申请国内外发明专利76 件，其中美国专利6 件，欧洲专利15 件，中国台湾地区专利6 件，日本专利4 件，中国内地专利45 件。目前已获得授权专利14 件，其中发明专利11 件，实用新型专利3 件。
沈阳硅基科技有限公司（简称硅基公司）成立于2004 年，于2017 年被国家认定为高新技术企业。公司拥有先进的SOI 专利技术和制造生产线，是一家致力于研发、生产和销售SOI 晶圆片的高新技术企业，也是国内具有自主知识产权——“低温微波”薄膜转移技术的SOI 材料供应商。
硅基公司主要产品包括8 ～12 英寸[1]薄膜SOI、8 ～12 英寸外延SOI、6 ～8英寸厚膜SOI、6 ～8 英寸硅-硅键合片、6 ～8 英寸图形SOI、8 ～12 英寸超薄膜SOI 以及8 ～12 英寸外延片。公司拥有行业领先的生产和测试设备90 余台（套），年产能20 余万片，为国内外集成电路制造及芯片代工厂商提供低成本、高品质的SOI 材料。目前，公司采用拥有自主知识产权的TM-SOI 技术生产SOI硅片产品，该项技术以微波加热的方式实现薄膜转移，是国内唯一具有自主知识产权的低温微波薄膜转移技术，该技术生产的产品与SOITEC 的智能切割技术可以达到同样的指标。目前，公司SOI 产品批量生产良率已经达到93.12％。截至目前，公司在SOI 技术领域，已经申请国内外发明专利76 件，其中美国专利6 件，欧洲专利15 件，中国台湾地区专利6 件，日本专利4 件，中国内地专利45 件。目前已获得授权专利14 件，其中发明专利11 件，实用新型专利3 件。(www.xing528.com)
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