图3.4 为全国集成电路装备产业历年专利申请量趋势图。从图中可以看出，2000 年以来，集成电路装备领域的专利申请量总体呈上升趋势。2008 年略有下降，这与经济危机的冲击有关，集成电路产业陷入低谷。迫于资金压力，许多集成电路在建项目不得不暂停，部分企业取消扩张计划，降低产能。危机同时也孕育着行业重组的机会，中国集成电路企业开始酝酿大规模的兼并重组。随着国际集成电路制造商纷纷在中国投资设厂，国际集成电路制造业向中国转移，中国集成电路行业内竞争也进一步加剧，因此，2008 年以后，伴随我国集成电路产业的发展，该领域专利申请量又呈现了大幅度的上升趋势。
图3.4 全国集成电路装备产业历年专利申请量趋势图
2014年，国务院正式发布《国家集成电路产业推进纲要》，同年9月成立“国家集成电路产业投资基金”（简称大基金），并带动地方政府纷纷建立地方基金，掀起集成电路产业的投资热潮，致使中国市场对集成电路装备的需求量骤增，全球集成电路制造业也在不断向中国内地转移。集成电路装备的研发申请也顺势增加，年申请量基本达到最大值。
受惠于政府的政策支持、广阔的市场需求以及技术水平的提升，2015 年中国集成电路产业，特别是制造业得到快速发展。然而目前国产半导体设备只占全球市场份额的1％～2％，处于整体较为落后的状态。未来几年，中国本土厂商的设备在全球市场份额当中所占比例最多不过5％，而且以中低端设备为主。这种巨大的市场容量与极为有限的设备输出水平形成了强烈的反差。其结果就是，我们要花大量的外汇去购买美、日、欧厂商的先进设备，使得贸易逆差和产业安全问题难以避免。从2015 年以后的专利申请量来看，中国在集成电路装备上的研发与创新势头正在回落，这将不利于未来该产业的进一步发展。因此，国内集成电路配套企业应该在政府及客户的共同推动下，通过自主技术研发、合作并购等方式，突破技术壁垒，生产出具有一定替代能力的国产集成电路装备、材料等配套产品，从而加速国内集成电路的全产业链建设。(www.xing528.com)
图3.5 为辽宁省集成电路装备产业历年专利申请量趋势图。总体看来，辽宁省集成电路装备专利申请量呈上升趋势，但不同年份会有较大波动，且年度申请量与全国相比差距较大。
近年来，辽宁积极推进本地集成电路装备产业的发展。2010 年12 月，辽宁半导体装备产业技术创新战略联盟的成立，对集成电路产业的发展起到了非常重要的推动作用。因此，2010 年以后专利申请数量增幅较大。但经过对比发现，细分区间内的专利申请数量波动较大，主要原因可能是由于集成电路装备的发展建设，需要投入的资金量非常大，技术也难于突破，同时受当地政策和经济的影响较大。目前辽宁集成电路装备产业专利申请量尚未形成稳定的增长趋势，表明辽宁省在该领域的创新能力还有待进一步提升。
图3.5 辽宁省集成电路装备产业历年专利申请量趋势图
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