由于集成电路生产制造涉及环节众多,辽宁省发展起步较晚,在集成电路领域也更倾向于基础雄厚的集成电路装备行业。2018 年,辽宁省陆续出台了《推动集成电路产业发展三年行动计划(2018—2020 年)》等一系列政策,从设计、制造、封测、装备、材料等多个方面引导集成电路全产业链协同发展。为了更好地为企业服务,辽宁省还设立了“辽宁省集成电路和智慧产业发展投资基金”,为产业发展提供资金支持。2019 年,辽宁省政府印发《辽宁省建设具有国际竞争力的先进装备制造业基地工程实施方案》,提出发展集成电路装备子工程,成立集成电路装备工程实施建设指挥部,研究辽宁省集成电路装备产业发展技术政策、技术路线、产业发展方向、产业发展重点等。近几年,在国家政策方针的引导下,辽宁省积极推进本地集成电路产业的发展。2010 年12 月,在辽宁省委、省政府和辽宁省科技厅的强力推动下,成立了辽宁半导体装备产业技术创新战略联盟,对集成电路产业的发展起到了非常重要的推动作用。
目前,辽宁省拥有集成电路相关企业100 多家,涵盖集成电路设计、制造、装备以及关键材料等领域,产业链相对完整,已形成一定的规模,具备进一步发展的基础和条件。以沈阳、大连两地的产业集聚区为基础,辐射抚顺、丹东、锦州、辽阳等地,实现了区域间错位发展。
大连以设计企业为主,辽宁省集成电路设计产业基地在大连成立,该基地是东北地区唯一的集成电路设计产业基地。沈阳以装备企业居多,2004 年,沈阳率先建立了全国第一个集成电路装备制造产业基地,2010 年该基地被国家科技部认定为“国家集成电路装备高新技术产业化基地”。目前基地拥有国家级工程(技术)研究中心、工程实验室5 个,省级工程(技术)研究中心、重点实验室7 个,拥有技术专利数量975 件。截至2018 年年底,沈阳共有集成电路装备制造企业19 家,其中包括芯源、科仪、新松、拓荆等整机企业7 家,仪表院、富创、中电四十七所等配套及零部件企业12 家。辽宁省集成电路装备产业保持良好的发展态势,重点企业在产品研发和市场拓展方面不断取得新成果,部分产品在业内同领域排名持续提升。在多年来的技术沉积和大量社会资本支持下,初步形成了“一项控制系统技术、四类重要整机装备、一批关键单元部件和一个关键零部件支撑平台”的集成电路生产配套能力,辽宁与北京、上海构成国内集成电路装备三大重点地区。(www.xing528.com)
总体看来,集成电路装备领域全国的专利申请量呈现上涨趋势,但个别年份也有较大波动。辽宁省的专利申请量也呈现总体增长态势,但没有形成一定的规律,波动较大。集成电路装备领域专利多集中在长三角、珠三角区域,辽宁及其他许多省市发展不够迅速,申请量较少。另外,由于辽宁省的工业基础因素,对实体设备方面的改进多于对工业方法的改进,与全国的总体研发热点略有差异。
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